�(jié)合了高靈敏度、高分辨率定量成像以及表面分析多技�(shù)�(lián)用能力的 Thermo Scientific? ESCALAB? QXi X射線光電子能譜儀 (XPS) 微探針將滿足您對提高分析性能和靈活性的需求�
ESCALAB QXi XPS微探針是一種可擴展和優(yōu)化的多技�(shù)儀�,具有靈活性和可配置�。它非常靈敏,可在幾秒鐘�(nèi)�(chǎn)生高�(zhì)量的光譜。系�(tǒng)控制、數(shù)�(jù)采集、處理和報告無縫集成在強大的 Thermo Scientific Avantage �(shù)�(jù)系統(tǒng)�。由直觀EM軟件�(qū)動的技�(shù)保證了結(jié)果和生產(chǎn)�。ESCALAB QXi XPS微探針具有獨特的雙檢測器系統(tǒng),還提供具有高空間分辨率的優(yōu)�(zhì) XPS 成像�
ESCALAB QXi XPS微探針的特點�
單色 XPS
雙晶微聚焦單色器帶有 500 mm 羅蘭圓,使用鋁陽極(或有雙單色器選項的鋁銀雙陽極),測試光斑尺寸在 200 μm � 900 μm 范圍�(nèi)可選�
電子�
與分析儀輸入透鏡同軸的電子槍用于在使用單� X 射線源分析非�(dǎo)電樣品時進行電荷補償,而不使用磁透鏡�,雙束電子槍�(chǎn)生兩種低能離�,以�(xié)助提供有效的電荷補償和低能電��
透鏡和分析儀
ESCALAB QXi XPS微探針上的透鏡和分析儀系統(tǒng)針對光譜�(xué)和平行成像進行了優(yōu)�;單一分析儀路徑意味著相同的儀器參�(shù)(例�,通過能)可用于譜圖和成像�
檢測�
ESCALAB QXi XPS微探針配備了兩個檢測器系統(tǒng):一個針對光譜進行了優(yōu)化,由一組六通道電子倍增器組�,另一個用于平行成�,由一對通道板和一個連續(xù)位置敏感探測器組成�
離子�
ESCALAB QXi XPS微探針有兩個選項用于快�、高分辨率的深度剖析:標� EX06 離子�,針對單粒子模式離子濺射和離子散射光譜進行了優(yōu)�;以及可選的單粒子和團簇離子� MAGCIS,它能夠�(yīng)用于單粒子離子剖�、離子簇剖析和離子散射光譜分析�
�(shù)碼控�
ESCALAB QXi的所有分析功能均由基� Windows 軟件� Avantage �(shù)�(jù)系統(tǒng)控制,這意味著可以根據(jù)需要遠程執(zhí)行整個分析過程�
對準和校�
包含�、銀和金樣品的標準塊可用于評估靈敏度、設(shè)置分析儀能量標度的線性度、校準離子源、校� X 射線單色器以及確定分析儀的轉(zhuǎn)換功��
樣品對齊
ESCALAB QXi的樣品臺上的所有運動軸均由 Avantage �(shù)�(jù)系統(tǒng)控制,儀器上安裝了高分辨率數(shù)碼攝像機,并與分析位置準確對��
樣品機械�
計算機控制的 5 軸高精度�(zhuǎn)換器 (HPT) 可實�(xiàn)準確的樣品對齊以進行分析。當與新的自動樣品裝載系�(tǒng)�(jié)合使用時,它可用于自動更換樣品架和運行預(yù)�(shè)實驗��
真空系統(tǒng)
ESCALAB QXi的分析室� 5 mm 厚的高導(dǎo)磁合金構(gòu)�,以最大限度地提高磁屏蔽效�,并使用渦輪分子泵和鈦升華泵對分析室進行抽氣,使分析室的真空度優(yōu)� 5 x 10-10毫巴�
制備�
ESCALAB QXi的標準前處理室是一個組合式的樣品入口鎖和制備室,具有可容納各種樣品制備�(shè)備的端口,例如加�/冷卻探針、離子槍、高壓氣室、樣品停放裝置和氣體入口�
連接�
測量坐標可以通過Thermo Scientifc Maps軟件從專用顯微鏡系統(tǒng)�(dǎo)入Avantage�(shù)�(jù)系統(tǒng),從而更快地識別測量區(qū)�??梢�?nbsp;XPS 光譜和成像數(shù)�(jù)添加� Maps 軟件�,以便直接比較表面化�(xué)和結(jié)�(gòu)信息�
ESCALAB QXi XPS微探針的性能�(shù)�(jù)�
單色 X 射線� | 微聚� Al K-Alpha 源或可選的微聚焦雙陽� Al K-Alpha � Ag L-Alpha � |
分析 | 180°、雙聚焦、雙極半球形分析儀,配備用于光譜和成像的雙檢測器系�(tǒng) |
離子� | Monatomic EX06 離子源作為標準配置提�� MAGCIS 雙模離子源可� |
真空系統(tǒng) | 兩個用于入口和分析室的渦輪分子�,配備旋�(zhuǎn)泵或無油前級泵;用于分析室的自啟��3 絲鈦升華� |
樣品� | 具有樣品加熱和冷卻功能的 5 軸樣品臺 從樣品室到分析室的可選全自動樣品傳� |
包括標準分析技�(shù) | X 射線光電子能� (XPS) 反射電子能量損失� (REELS) 離子散射� (ISS) |
可選的分析技�(shù) | 用于紫外光電子能� (UPS) 的紫外燈 用于 HAXPES 的非單色 X 射線� 用于俄歇電子能譜 (AES) � SEM 的場�(fā)射電子源 逆光電子能譜 (IPES) EDS 檢測� |
可選配件 | 手套箱、真空轉(zhuǎn)移容��EX03 寬束離子源、盤片相� |
樣品制備選項 | 加熱/冷卻樣品�、附加制備室、可烘烤� 3 路進氣�、斷裂臺、樣品停放裝� |